Công nghiệp vi mạch bán dẫn (Semiconductor) đã trở thành ngành công nghiệp mũi nhọn của nhiều quốc gia trên thế giới. Một con chip nhỏ xíu nhưng là một hệ thống vi mạch cực kỳ phức tạp. Việc thiết kế và chế tạo là tổng hợp nhiều khoa học và công nghệ khác nhau. Sản phẩm từ công nghiệp bán dẫn được ứng dụng rộng rãi trong đời sống. Nhất là lĩnh vực điện tử, truyền thông, thiết bị di động, máy tính,…
Chất bán dẫn
Chất bán dẫn trở thành một nguyên liệu không thể thiếu cho nhiều thiết bị điện tử. Chất bán dẫn có vai trò quan trọng trong việc điều khiển các thiết bị trong nhiều lĩnh vực khác nhau. Như điều hòa không khí,điều trị phẫu thuật bằng laser, chăm sóc y tế và nhiều ứng dụng khác.
Những tiến bộ của công nghệ bán dẫn đã giúp chúng ta tối ưu hóa hệ thống, thu nhỏ thiết bị và tiết kiệm năng lượng. Giúp ích cho việc bảo vệ môi trường toàn cầu, đem lại cuộc sống an toàn và mở ra tương lai thịnh vượng.
Sự có mặt của các doanh nghiệp hàng đầu thế giới về vi mạch đã đầu tư vào Việt Nam như Intel, Samsung. Góp phần thúc đẩy sự phát triển mạnh mẽ của ngành này trong thời gian qua.
Vai trò của khí công nghiệp trong sản xuất chất bán dẫn
Quy trình sản xuất chất bán dẫn và các vi mạch sử dụng rất nhiều các loại khí đặc biệt như : Silane (SiH4), Diborane (B2H6), Phosphine (PH3),… Đây là các loại khí đóng vai trò quan trong. Và được sử dụng trong hầu hết các công đoạn sản xuất từ tinh chế cát (SiO2) thành Silic nguyên chất cho đến các bước tạo ra các tấm xốp (Wafer) và xử lý Wafer, công đoạn lắp ráp và đóng gói bao bì thành phẩm.
- Các loại khí công nghiệp đóng vai trò then chốt trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Tạo ra các phản ứng hóa học cần thiết để hình thành các tính chất điện của chất bán dẫn.
- Quá trình sản xuất các mạch tích hợp rất phức tạp và yêu cầu hơn 30 loại khí khác nhau trong tất cả các giai đoạn. Do tính phức tạp của nó, các loại khí được sử dụng cần phải tinh khiết và chính xác ở mọi giai đoạn của quy trình sản xuất để cấu hình đúng chất bán dẫn.
- Một số loại khí cốt lõi được sử dụng bao gồm Nitơ, Oxy, Argon và Hydro,
Khí Nitơ được sử dụng như loại khí làm sạch loại bỏ oxy, hơi nước trong suốt quá trình sản xuất chất bán dẫn. Khí Nitơ có độ tinh khiết cao được đưa qua tất cả các kênh và mạng lưới đường ống để loại bỏ chất gây ô nhiễm ra khỏi công cụ và tấm bán dẫn.
Khí Helium giữ vai trò là khí bảo vệ. Helium có tính dẫn nhiệt cao, dẫn nhiệt hiệu quả và điều chỉnh nhiệt độ của tấm silicon trong quá trình sản xuất.
Khí Hydro có độ tinh khiết cao được sử dụng để lắng đọng Epiticular của vật liệu bán dẫn như Silicon và Silicon germaium và ủ các bề mặt oxy hoá trên tấm Silicon. Hydro cũng có thể được dùng làm tác nhân làm sạch: Plasma hydro loại bỏ các tạp chất từ nguồn sáng trong quá trình quang hoá UV.
Khí Argon trơ và dễ bị ion hoá nên được lựa chọn làm plasma sơ cấp. Plasma Argon được sử dụng trong phản ứng lắng đọng và ăn mòn. Khí Argon được sử dụng trong in laser thạch bản UV sâu và tác nhận làm sạch những con chip nhỏ nhất và dễ vỡ nhất.
Xem các loại khí được sử dụng trong ngành bán dẫn
Khí công nghiệp VI NA cung cấp sản phẩm của Air Products bao gồm: khí siêu tinh khiết có độ tinh khiết 99.9992, 99.9995, 99.9999, 99.99998 và khí hỗn hợp với độ phức tạp cao – hỗn hợp chứa hơn 30 cấu tử và nồng độ ở mức ppb. Sản phẩm khí đặc biệt có thời hạn sử dụng dài, ổn định và liên kết chuẩn đáp ứng các yêu cầu khắt khe nhất trên thị trường, đặc biệt trong lĩnh vực phân tích thí nghiệm, hiệu chuẩn.
Hãy liên hệ Khí Công nghiệp VI NA để được tư vấn về sản phẩm và dịch vụ Khí công nghiệp – Khí đặc biệt, Khí Helium, Helium lỏng.